Аппарат для недорогого изготовления MEMS-устройств распечатали на 3D-принтере

Рынок микроэлектромеханических систем достиг миллиардных оборотов, но ввиду дороговизны производства на нем преобладает ограниченный круг устройств, на выпуске которых можно получить гарантированный доход, например, акселерометры, помогающие смартфонам определять ориентацию экрана.

В Массачусетском технологическом институте видят возможность исправить эту ситуацию: инженеры МТИ изготовили MEMS-газоанализатор без использования дорогостоящих процессов. Датчик создан путем электрораспыления на кремниевую подложку жидкости с хлопьями оксида графена через массив капельниц. Жидкость затем испарилась, оставив покрытие толщиной в несколько нанометров. При взаимодействии хлопьев оксида с газом они меняют сопротивление, разницу можно измерить, - на этом и основано действие датчика.

По словам исследователей, при изготовлении традиционным способом потребовались бы температуры около 1000° С для выращивания оксида и, возможно, глубокий вакуум. Так как ничего из этого не понадобилось, себестоимость изготовления датчика оказалась стократно меньшей. Исследователи удостоверились в том, что их газоанализатор работает не хуже коммерческих аналогов. Сами капельницы для электрораспыления можно изготавливать с помощью 3D-принтера, благодаря чему открывается возможность несложного создания аппаратов выпуска MEMS-устройств для различных применений. В частности, методом электрораспыления можно было бы изготавливать биодатчики новых типов, полагают авторы.